实验室简介：

山东省硅单晶半导体材料与技术重点实验室聚焦山东省八大发展战略和德州市“541”产业体系，由山东有研半导体材料有限公司、德州学院和山东有研艾斯半导体材料有限公司联合组建，打造“一基地，一研发中心，一学院”的融通创新模式。

重点实验室以突破硅单晶半导体材料制造、大尺寸硅单晶加工和新型半导体创制等“卡脖子”技术为目标，凝练形成半导体晶体材料的制备、半导体晶片精密加工、半导体材料表征技术和半导体材料应用拓展四个研究方向。充分发挥山东有研丰富的半导体硅材料产业化经验和德州学院先进材料设计和应用研究优势，通过对高端专业人才、先进设备进行整合，形成以基础研究、应用技术研究与技术开发和推广相结合的建设新模式，实现硅单晶半导体材料关键技术突破，并研制下一代半导体材料，探索其在多个领域的应用，全面支撑我国半导体产业发展。

团队建设

重点实验室目前拥有研究人员50余人，由屠海令院士担任带头人，现有学术带头人5人，科研骨干15人。重点实验室现有教授/高工23人，副教授8人，博士学位人员占比64%，拥有“国务院特殊津贴专家”6人，省级专家、团队带头人4人，以及日本及台湾专家团队。重点实验室坚持“以条件吸引人，以机制激励人，以环境培养人”的人才战略，通过优化整合山东有研的技术骨干和德州学院相关专业的博士教师，形成了以“基础研究-应用开发-产业化示范”为一体的先进半导体材料多学科交叉研究团队。同时聘请吴以成院士、吴汉明院士等国内外知名专家担任实验室客座教授，为研发工作提供了有力的人才保障。

平台建设

目前，重点实验室总场地面积达10万余平方米，总科研实验室面积6000余平方米，其中德州学院科研实验室2000余平方米。研发和生产相关仪器设备总值达7900余万元，包括硅单晶半导体材料制备平台（单晶炉、切片机、截断机、倒角机、滚磨机、数控机床等）；半导体晶体材料及部件精密加工平台（化学气相沉积设备、抛光机组、腐蚀机、清洗机等）；半导体材料及部件表征技术平台（四探针电阻率测试仪、红外吸收光谱、X射线定向仪、表面光电压仪、等离子质谱仪、激光颗粒仪等）；新型半导体晶体/复合材料应用拓展平台（新型半导体研发设备，及其发光、传感、识别、催化等性能评价设备）。下一步拟增加研发场地4800余平方米，投入总建设费用3亿元以上，用于购置仪器设备、改善提升实验室环境和配置专业软件等。

科研成果：

重点实验室以突破大尺寸硅基半导体制备“发脖子”问题和新型半导体应用扩展为目标开展应用基础研究，近5年取得了多项研究成果并实现了产业转化，促进了多学科交叉研究和政产学研协同创新。先后获批国家级科研项目14项，省部级以上项目40余项，在Advanced Materials、Journal of the American Chemical Society、Nature Communications等材料和化学领域高水平期刊发表研究论文60余篇，拥有授权中国专利和国际专利2000余项，制定国家和行业标准600余项，获得省部级以上及一级协会科技成果奖励1100余项，包括获山东省自然科学奖二等奖1项，中国机械工业科学技术奖一等奖1项，教育部技术发明奖一等奖1项，全国半导体设备和材料标准化委员会颁发的一等奖和二等奖各1项，中国有色金属工业科学技术奖二等奖4项。

产教融合：

为切实发挥双方优势，促进校企深度融合，与同平台共建同步，德州学院与山东有研半导体材料有限公司共同成立德州学院半导体产业学院。产业学院采取“一院两址”方式，同时设在德州学院和有研公司，分别侧重于教学科研和实践创新，围绕半导体材料产业链、创新链需求，通过组建“产业班”、设置对口专业或专业方向、开设特色课程、聘用企业高层次技术人员授课等方式，共同培养产业发展需要的应用型人才。通过构建协同育人机制，建设集人才培养、技术研发、社会服务、学科建设、专业互融于一体的发展共同体，打造山东半导体材料产业高峰，建设高水平应用型大学，实现校企、校地合作共赢，推进产业振兴和区域经济社会高质量发展。